文章摘要:为了探究飞秒激光加工SiC/SiC复合材料厚板的孔型特征，采用光束同心圆填充扫描方式对厚度为4mm的SiC/SiC复合材料进行制孔试验，并分析了飞秒激光加工参数对入口直径、孔深、锥度等孔型特征的影响规律和影响机理。结果表明：脉冲能量、重复频率、线重合度以及扫描速度对小孔入口直径影响较小、但对孔深和锥度影响较大；上述试验参数与光束扫描面积内的能量密度密切相关，小孔锥度随能量密度增大而减小，小孔深度则反之，当采用最大脉冲能量130μJ、最大重复频率100kHz、最小扫描速度100mm/s、最大线重合度77%以及最小进给量0.1mm时，小孔锥度达到最小值12.38°；上层材料对光束的遮挡以及排屑困难导致深孔加工锥度不易控制。本研究可以为今后SiC/SiC超快激光制孔应用提供参考。

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论文分类号:TQ332;TN249

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