文章摘要:设计并制备了一种基于还原氧化石墨烯(RGO)材料的电阻式湿度传感器,该湿度传感器的关键部分采用叉指电极结构,它是利用沉积、光刻、溅射和剥离等微电子机械系统(MEMS)工艺制备而成,湿敏材料是由一定比例的RGO粉末和分散剂经过超声波分散配置成均匀分散的水溶液,叉指电极与湿敏材料通过滴涂方法有效结合,并进行了相关的测试。结果显示,在环境湿度为38.4%RH～97.7%RH时,湿度变化量与电阻变化量的线性相关度高达0.972 79,传感器的灵敏度约为0.457 91Ω/%RH。在环境湿度为38.4%RH～55.1%RH时,传感器的响应时间为9 s、恢复时间为12 s,经过多次测试,具有良好的稳定性与重复性。

文章关键词:还原氧化石墨烯(RGO),微电子机械系统(MEMS),电阻式湿度传感器,叉指电极,湿敏材料,

项目基金:山西省自然科学基金资助项目(201801D221203),

论文作者:雷程¹ 张君娜¹ 刘瑞芳¹ 梁庭¹ 赵珠杰¹ 齐蕾² 

作者单位:2. 北方自动控制技术研究所 

论文分类号: TQ127.11;TP212

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