文章摘要:为了提高电子产品显示屏幕的耐用性，研制了可见光波段的硬质减反射薄膜。使用新材料SiAlON代替常用低折射率材料SiO₂，依据Clausius-Mossotti方程式对其等效介电常数进行理论计算，并进行实验验证。经测试，使用SiAlON与Si_-3N₄制备的硬质减反射薄膜平均硬度达到1773.9HV，可见光波段平均反射率为0.489%。在保证薄膜减反射效果的同时提升了薄膜硬度，不仅对电子产品的显示屏起到更好的保护作用，而且对在低反射和高硬度方面具有较高要求的其他光学组件同样具有重要意义。

文章关键词:光学薄膜,减反射膜,SiAlON,硬度,

论文作者:付秀华¹ 檀承启¹ 张功¹ 陈星聿¹ 任仲举¹ 汪洋² 李爽² 

作者单位:1. 长春理工大学光电工程学院 2. 光驰科技(上海)有限公司 

论文分类号: TN873

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